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碳化硅离子注入及欧姆接触研究的任务书

任务名称：碳化硅离子注入及欧姆接触研究

任务目的：

1.研究碳化硅离子注入在硅基衬底上的特性和性能。

2.研究碳化硅薄膜上的欧姆接触性能。

3.评估碳化硅离子注入和欧姆接触研究的应用前景。

任务内容：

1.设计并搭建碳化硅离子注入实验平台，实现对硅基衬底的离子注入。

2.测量并分析碳化硅离子注入后的硅基衬底的表面形貌、微观结构和物理性能。

3.制备碳化硅薄膜样品，测试其欧姆接触性能，比较不同制备条件下的差异。

4.对碳化硅离子注入和欧姆接触性能进行综合研究。

5.根据实验结果，撰写研究成果报告并提出下一步研究的方向和建议。

任务计划：

1.第一至第二个月：搭建碳化硅离子注入实验平台，进行实验前的准备工作。

2.第三至第五个月：进行离子注入实验，测试样品表面形貌和微观结构，分析物理性能。

3.第六至第八个月：制备碳化硅薄膜样品，测试其欧姆接触性能，并比较不同制备条件下的差异。

4.第九至第十一个月：对碳化硅离子注入和欧姆接触性能进行综合研究，撰写实验报告。

5.第十二个月：撰写研究成果报告，提出下一步研究的方向和建议。