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二维二硫化钼材料制备及表征争论
崔玉青;席莎;唐军利;何凯;朱琦;周文
【摘要】本文承受硫粉和三氧化钼为原料,通过化学气相沉积法在Si/SiO2基片外表沉积二硫化钼薄膜,通过大量试验证明:将基片进展硫化预处理后,在肯定的温度和Ar气流量下,即可制备出三角形貌的二硫化钼薄膜.最终承受扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱分析对所制备的二硫化钼产品进展表征争论.结果说明:该方法制备得到的产品为二维二硫化钼,晶体形貌为三角形,其厚度小于5nm,局部可到达1nm,拉曼光谱进一步验证产品的层数范围.而XPS检测分析确认CVD沉积所得薄膜为二硫化钼.%Usingsulfurpowd
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