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2023年半导体设备项目规划设计纲要.docx

2023年半导体设备项目规划设计纲要.docx

    半导体设备项目规划设计纲要

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    半导体设备项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z11356前言 3

    15226一、半导体设备项目选址可行性分析 3

    25246(一)、半导体设备项目选址 3

    15149(二)、用地控制指标 3

    9532(三)、节约用地措施 5

    13001(四)、总图布置方案 6

    29222(五)、选址综合评价 7

    23152二、工艺说明 8

    21280(一)、技术管理特点 8

    9819(二)、半导体设备项目工艺技术设计方案 9

    16115(三)、设备选型方案 11

    8128三、半导体设备项目

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