2023年合成氟金云母单晶片项目规划设计方案.docx

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合成氟金云母单晶片项目规划设计方案

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合成氟金云母单晶片项目规划设计方案

目录

TOC\h\z32375概论 3

30860一、产品规划分析 3

5123(一)、产品规划 3

25838(二)、建设规模 4

1772二、合成氟金云母单晶片项目文档管理 5

9889(一)、文档编制与审查 5

10917(二)、文档发布与分发 6

22691(三)、文档存档与归档 7

13883三、工艺说明 9

26027(一)、技术管理特点 9

16870(二)、合成氟金云母单晶片项目工艺技术设计方案 10

25605(三

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