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一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置.pdfVIP

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  • 2024-03-16 发布于四川
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一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置.pdf

    本发明属于镜面干涉检测领域，具体涉及一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置，包括：获取待测凸自由曲面反射镜的预设理论面形，用以构造相位计算全息元件的多台阶结构，该多台阶结构能使全息元件对干涉仪所发出的检测光进行波前调整，且调整后检测光在由二次曲面反射镜汇聚后，能够沿着待测凸自由曲面反射镜整个全口径曲面理论轮廓的法向入射待测反射镜并沿法向返回，实现零位补偿干涉测量；依次对干涉仪、相位计算全息元件、二次曲面反射镜及凸自由曲面反射镜对准，并进行干涉测量，得到待测反射镜上各个检测点相对预设理论面

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117705005A

    (43)申请公布日2024.03.15

    (21)申请号202311738492.X

    (22)申请日2023.12.18

    (71)申请人华中科技大学

    地址430074

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