原创力文档- 10
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- 2024-03-16 发布于四川
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本发明公开了一种组合式全自动去胶剥离机包括：两台去胶机，包括：第一去胶机，设有第一去胶腔体、第一去胶液加压组件和第一过滤装置；第二去胶机，设有第二去胶腔体、第二去胶液加压组件和第二过滤装置；一个沉淀池，分别与所述第一去胶腔体和所述第二去胶腔体连通；一个浸泡组件，连通所述沉淀池，用浸泡液浸泡晶圆，去除晶圆上残留的去胶液；一个第一清洗组件，所述第一清洗组件用清洗液清洗晶圆上残留的浸泡液；一个晶圆供给装置，晶圆供给装置用于运输晶圆，将晶圆运输至所述第一去胶腔体、所述第二去胶腔体、所述沉淀池、所述浸泡组
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117711981A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311793459.7
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人宁波润华全芯微电子设备有限公司
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