电子气体 惰性稀有气体 编制说明.docx

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一、工作简况

1.1任务来源

根据《国家标准化管理委员会关于下达2023年第三批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》（国标委发2023（58号）），制定《电子气体惰性稀有气体》国家标准的计划由国家标准化管理委员会批准，项目计划号T-469，项目周期18个月。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口管理、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（以下简

称“气体分会”）执行。

1.2制定背景

电子级惰性稀有气体包含电子级氪、电子级氖、电子级氙，主要应用于半导体刻蚀及光刻机，每年需求量上百万吨。氪可用于充填游离（电离）室，以测量高能射线（宇宙射线），并可用作X射线工作时的遮光材料，氪还可用于气体激光器和等离子流中，氪在半导体加工过程中的内存颗粒堆叠（3DNAND）技术上做深沟道槽的刻蚀与清洁，可在更小的空间内容纳更高存储容量，进而极大提升芯片的性能，液氪可用于粒子探测器的气泡室。氖在电子制造方面被用作清洗剂，去除电路板上残留物，从而提高电路板质量；氖还被用于生产液晶显示屏、太阳能电池板，半导体工业中制造等领域；在激光切割方面，氖用于增加激光稳定性和精度，从而在自动化工厂和制造业中，进行高效精确切割。氙在电子行业常被用作灯管和图像显示器的填充气体；氙还被用于制造荧光屏和等离子显示器，为消费者提供更好的视觉体验。在光功率行业，氙被广泛应用于激光器的制造，氙激光器具有高效能、波长范围广、输出稳定等优点，被广泛应用于科研、医疗、通信等领域。

近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。电子级惰性稀有气体主要用于集成电路技术领域，是一种性能极佳的高纯气体材料。惰性稀有气体作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高

质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准。

纵观全球电子级惰性稀有气体市场，乌克兰的产量为全球三分之一，俄乌战争之后、乌克兰的产量锐减，中国企业迅速产业升级，目前产量约占全球二分之一。现行氪、氙、氖的国标为工业级，不适

合电子级，无法满足光刻机等半导体领域的要求，因此制定电子级惰性稀有气体的标准非常必要。

1.3工作过程的说明

1.3.1起草阶段

2023年国家标准化管理委员会下达了国标委发【2023】58号文，《电子气体惰性稀有气体》正

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式立项。为保证项目顺利实施，气体分会秘书处组织昊华气体有限公司西南分公司、西南化工研究设计院有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山三水德力梅塞尔气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、大连大特气体有限公司、浙江省化工研究院有限公司、武汉钢铁集团气体有限责任公司、大连华邦化学有限公司、北京控制工程研究所、北京首钢气体有限公司、河南纳新气体有限公司、河北邯钢特种气体有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、大连科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司等相关单位做

了大量的前期调研及草案起草工作。

标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际工业标准中，没有涉及惰性稀有气体氖、氪、氙的标准。同时，起草小组对国际、国内电子惰性稀有气体产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于2023年12月份提出了标准的讨论稿。2023年12月，标准起草小组在浙江衢州召开标准讨论会，广泛征求生产企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的基本结构、范围、技术指标、检验方法等进行了认真

的讨论。提出了如下的意见：

（1）分析指标及试验方法见表1~3：

表1氪指标讨论的结果

项目

会议指标

会议方法

氪（Kr）纯度(体积分数)/10-2

≥99.9995

≥99.9999

氮气（N2）含量（体积分数）/10-6

1

0.2

HID

氧气+氩气（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6

0.5

0.1

HID

氢气（H2）含量（体积分数）/10-6

0.1

0.1

HID

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6

0.1

0.05

HID

二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6

0.1

0.05

HID

甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-6

0.1

0.05

HID

总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/l0-6

待定

待定

FID

水分（H2O）含量（体积分数）/10-6

0.5

0.1

CRDS

氙（Xe）含量（体积分数）/10-6