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本发明公开了一种基于点云配准的芯片引脚缺陷检测方法，包括(1)采用激光相机获取芯片引脚处的点云，并对点云进行预处理；所述预处理是指基于体素格的均值降采样，用于将点云投影为灰度图，并将灰度的像素点和点云的位置一一对应；(2)点云配准，寻找采集的点云和标准空间的点云对应的点集，将采集得到的点云和标准空间的点云配准到一个空间；(3)合格引脚判断，判断引脚是否存在缺陷。本发明采用体素格采用实现高精度的点云配准，实现了工业化的机器视觉芯片引脚缺陷检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117723563A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311446772.3
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人四川大学
地址610000
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