AlGaN紫外探测器及其焦平面阵列技术研究进展_王颖.pdfVIP

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AlGaN紫外探测器及其焦平面阵列技术研究进展_王颖.pdf

SEMICONDUCTOROPTOELECTRONICSVol.43No.3June2022

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宽禁带半导体材料与器件专题DOI10.16818issn1001-5868.2022042602.

AlGaN紫外探测器及其焦平面阵列技术研究进展

王颖王振

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