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本发明公开了一种基于裂纹模板法的小线宽小周期金属网栅透明导电薄膜制备方法，该方法通过对原始不完全裂解的裂纹模板进行退火处理，在退火处理过程中对裂纹模板的水分进行蒸发形成的收缩应力，使得不完全裂解网络进一步裂解完全。由于无需改变现有基于裂纹模板法制备金属网栅的所有工艺流程，只是在原始裂纹模板制备完成后，中间增加退火处理，然后继续进行金属沉积和去胶流程，在基本不增加制备时间和成本的情况下，得到了线宽小周期金属网栅透明导电薄膜样品。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790077A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311856074.0
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人中国人民解放军国防科技大学
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