一种外置电极的大电容、高Q值MEMS环形陀螺仪.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种外置电极的大电容、高Q值MEMS环形陀螺仪.pdf

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本发明提供了一种外置电极的高Q值MEMS环形陀螺仪结构，包括环形件、设于环形件外侧并通过周向解耦梁连接的质量块，以及置于质量块内部的梳齿电极和位于环形件内侧的平板电极。该MEMS陀螺仪通过径向连接梁和连接到最外侧的锚点上，其主要工作模态是内多环与外质量一起同相运动的位移放大模态，能够实现工作模态和检测模态的简并，符合哥氏效应原理。此外本发明的外置电极是一种创新的刚度‑质量解耦设计，优化了环形陀螺的模态分布，并且提高了陀螺仪的驱动/检测电容量，使陀螺仪具有良好的动力学特性和更高的机电接口灵敏度。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117782046A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202211148559.X

(22)申请日2022.09.21

(71)申请人南京理工大学

地址210094

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