电子元器件中的薄膜技术课件.pptVIP

电子元器件中的薄膜技术

孟祥龙

硅基集成电路

口平面工艺,多

层加工

口以硅单晶片为

单位制造

硅片(wafer

己片(die

口发展迅速,重要果

口摩尔定律

捉出“摩尔规律”的戈登·摩尔

口薄膜技术一电子集成电路一信息社会基础

口电子系统重量减少(几百公斤-几公斤),

功耗降低(几千瓦-几十瓦)

日战争为例

二战混凝土9000枚

越战

200-300枚

海湾战争1-2枚

22nm3-DTri-GateTransistor

Transistorshavenowenteredthethirddimensionl

Ivybridge就要来了

22nmTri-GateTransistors

22nmTri-GateTransistor

Tn-Gatetransistorscanhavemultiplefinsconnectedtogether

TransistorInnovationsEnableTechnologyCadence

2019

2019

黑回影

StrainedSiliconStrainedSiliconHigh-kMetalGateHigh-kMetalGate

StrainedSilicon

HighkMetalgate

Tri-Ga

Tri-GateAchievementResul