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ETD系列溅射仪选型参考表
型号
ETD2000ETD3000ETD2000IIIETD2000C
配置功能
溅射区域：单区域单区域三区域单区域
蒸碳功能无无无有
表面离子清洁选配选配选配选配
真空样品室：直径：160mm，高：120mm直径：160mm，高：120mm直径：160mm，高：120mm直径：160mm，高：120mm
靶（上部电极）：50mm×0.12mm50mm×0.12mm45mm×0.12mm50mm×0.12mm
溅射面积：Ф50mmФ50mmФ45mm，Ф50mm
最高真空度≤4X10-2mbar≤4X10-2mbar≤4X10-2mbar≤2×10-2mbar
溅射电流：0-50mA0-100mA0-50mA（0-100mA）0-50mA
最长定时时间：900S900S900S9999S
微型真空气阀：可连接φ3mm软管可连接φ3mm软管可连接φ3mm软管可连接φ3mm软管
可通入气体：多种多种多种多种
最高电压：-1600DCV-3000DCV-1600(-3000)DCV-1600DCV
蒸碳电流0-10A(AC)
机械泵：2L/S2L/S2L/S4L/S
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