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2024-04-03 发布于河北
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精密与特种加工技术主讲人：纪仁杰

纳米加工技术

纳米加工技术LIGA(LithographicGaluanoformungAbformung)X射线曝光腐蚀溶解抗蚀剂电铸铸型注射成形零件LIGA由深层同步X射线光刻、电铸成形、塑注成形组合而成。包括三个主要工序：①以同步加速器放射的短波长(＜1nm)X射线作为曝光光源，在厚度达0.5mm的光致抗蚀剂上生成曝光图形的三维实体；

纳米加工技术LIGA(LithographicGaluanoformungAbformung)X射线曝光腐蚀溶解抗蚀剂电铸铸型注射成形零件LIGA由深层同步X射线光刻、电铸成形、塑注成形组合而成。包括三个主要工序：②用曝光蚀刻图形实体作电铸模具，生成铸型；③以生成的铸型作为模具，加工出所需微型零件。

纳米加工技术LIGA(LithographicGaluanoformungAbformung)LIGA工作现场

纳米加工技术LIGA特点用材广泛，可以是金属及其合金、陶瓷、聚合物、玻璃等。可以制作高度达0.1～0.5mm，高宽比大于200的三维微结构，形状精度达亚微米。可以实现大批量复制，成本较低

纳米加工技术LIGA代表产品及应用50μmX射线刻蚀的三维实体微传感器、微电机、微机械零件、微光学元件、微波元件、真空电子元件等广泛应用于加工、测量、自动化、电子、生物、医学、化工等领域

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