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第61卷第1期真空VACUUMVol.61，No.1
2024年1月Jan.2024
等螺距螺杆真空泵内气体流动的数值模拟研究*
何天一，岳向吉，张志军，巴德纯，冯晓荣，杨帆111112
（1.东北大学机械工程与自动化学院，辽宁沈阳110819；2.广东美芝制冷设备有限公司，广东佛山528000）
摘要：应用计算流体力学（CFD）方法对螺杆干式真空泵进行数值模拟计算，建立了针对螺杆干式真
空泵流场的分析方法。对泵腔中流动区域进行三维建模，采用SCORG和ANSYS-ICEM软件对转动域和
固定域分别进行了网格划分，利用瞬态模拟方法得到了泵内压力场、速度场和温度场的分布情况，并计
算出抽气速率等参数。网格无关性分析结果与理论数据对比表明数值模拟结果可靠，符合预期。
关键词：螺杆真空泵；CFD；动网格；数值模拟
中图分类号：TB752文献标识码：A文章编号：1002-0322（2024）01-0052-06
doi：10.13385/j.cnki.vacuum.2024.01.08
NumericalSimulationofGasFlowinaFixedPitchScrewVacuumPump
HETian-yi,YUEXiang-ji,ZHANGZhi-jun,BADe-chun,FENGXiao-rong,YANGFan111112
（1.SchoolofMechanicalEngineeringandAutomation,NortheasternUniversity,Shenyang110819,China;
2.GuangdongMeizhiCompressorCo.,Ltd.,Foshan528000,China）
Abstract：Thecomputationalfluiddynamics(CFD)methodwasusedtosimulatethescrewdryvacuumpumpbynumerical
simulationandcalculation,andtheanalysismethodfortheflowfieldofscrewdryvacuumpumpwasestablished.Theflowareain
thepumpchamberwasmodeledin3D,andtherotatingandfixeddomainsweremeshedseparatelywithSCORGandANSYS-ICEM
softwares.Thetransientsimulationmethodwasusedtoobtainthedistributionofpressurefield,speedfieldandtemperaturefieldin
thepump,andtheparameterssuchaspumpingratewerecalculated.Performmeshagnosticanalysiswascarriedout,andthe
comparisonbetweenanalysisresultsandthetheoreticaldatashowsthatthenumericalsimulationresultsarereliableandinlinewith
expectations.
Keywords：screwvacuumpump;CFD;dynamicgrid;numericalsimulation
近年来，我国半导体、化工、制药等行业迅速算模型，使用动网格方法分析了等螺距螺杆真空
发展，对真空获得设备的需求不断增加，很多领泵内部流动过程，得到了泵内压力场、速度场和
域对无油真
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