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面阵探测器、衍射图像获取装置和获取衍射图像的方法.pdfVIP

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  • 2024-04-06 发布于四川
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面阵探测器、衍射图像获取装置和获取衍射图像的方法.pdf

    本申请实施例公开了一种面阵探测器、衍射图像获取装置和获取衍射图像的方法，涉及物质检测领域，旨在提供一种体积小、检测信息全面的探测装置。具体方案为：一种面阵探测器，用于衍射图像获取装置，该面阵探测器位于该载样台和该透镜组件之间，该面阵探测器具有透光孔和多个像素阵列的探测面，该透光孔设置于该探测面上；该透光孔用于供入射至样品的带电粒子束穿过；该探测面用于检测被该样品反射的带电粒子束。该透镜组件和面阵探测器均无需避让载样台，该面阵探测器的带电粒子束于样品的每个扫描位置检测至少一张背散射电子二维衍射图样

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117825422A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202211183431.7

    (22)申请日2022.09.27

    (71)申请人华为技术有限公司

    地址5181

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