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本发明涉及陶瓷基板材料技术领域,尤其涉及一种氮化硅基复合陶瓷基板及其制备方法。所述氮化硅基复合陶瓷基板由以下原料组成:氮化硅95~110份、氮化硼晶须4~8份、六钛酸钾晶须7~14份、助烧剂22~38份、增塑剂14~20份、分散剂6~15份、粘结剂16~25份、有机溶剂85~115份。本发明通过在氮化硅基基板材料中加入碳氮化钛、钨酸锆,不仅能改善氮化硅基陶瓷基板抗弯强度、断裂韧性等力学性能,还能进一步提高氮化硅基陶瓷基板对钛、镍、铝等不等金属的结合强度,提高了陶瓷基板整体可靠性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117820004A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311286708.3
(22)申请日2023.10.08
(71)申请人扬州中天利新材料
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