液晶玻璃基板热端生产中 Adherd Glass（ADG）影响因素及改善措施.docxVIP

引言

液晶玻璃基板作为液晶平板显示器的重要组成部分，随着市场对显示面板分辨率、轻薄化的要求越来越高，对玻璃基板表面品质要求更为严苛。溢流下拉法生产液晶基板玻璃，在热端生产如横切、纵切、掰断、运输、包装过程中，常常会产生一定量的玻璃粉尘，如改善措施不到位，在重力、静电吸附作用下，极易在高温下分散或团状聚集粘附于玻璃表面，产生AdherdGlass（ADG）缺陷，从而影响玻璃品质。其形状根据产生不同工位分为：贝壳状、不规则形态、条状，尺寸为30~300?μm。热端产生的ADG缺陷，在后续加工过程中，很难通过清洗消除，并且可能造成表面划伤等缺陷，无法满足下游面板生产要求。

ADG形态及尺寸

ADG常见形态为：贝壳状、不规则形态、条状（均为面检放大图片），尺寸：30~300?μm。见图1。ADG在玻璃基板分布情况：在暗室通过10Klux强光检查时发现ADG一般成团状聚集或整板点状分布。

图1ADG镜检图片

ADG产生原因

（1）玻璃热切割及掰断。

根据微裂纹理论，对于玻璃基板这种脆性材料的断裂可以分为两个过程：第一是微裂纹的产生；第二是微裂纹的扩展至玻璃自动断裂，当断裂深度大于玻璃的断裂临界长度时，就会迅速扩展使材料断裂。如图2所示。溢流下拉法工艺流程中，玻璃基板成型完成后需要进行横向切割和纵向切割。玻璃在刀轮划线切割过程中会产生一定玻璃粉尘，在掰断时出现一定飞散，极易在高温和静电作用下，粘附于玻璃表面，形成ADG。由于该过程产生的ADG粘附力极强，很难在后续加工中清洗干净，存在较大的划伤风险，严重影响玻璃品质。

图2玻璃基板切割原理

（2）真空负压吸尘系统能力不足或系统异常。

真空负压吸尘一般跟随划线系统运行，其正常使用为-1000Pa左右，随着时间推移玻璃粉尘会逐渐堵塞过滤网，其吸尘能力下降，形成聚集性团状ADG。?

（3）生产过程中玻璃的破碎、扬尘。

玻璃在划线切割、掰断、装载、运输过程中可能破片或碎裂，在空气中形成玻璃粉尘，飘落至玻璃表面形成ADG。

（4）切割工艺的调整、切割刀轮差异、机器人掰断程序变化。

划线切割起始位置、划线深度、掰断位置及机器人掰断姿态不匹配，掰断过程中受力不均，可能产生玻璃边缘局部崩口现象，从而形成贝壳状ADG。特别是切割刀轮的选择则是该缺陷控制重要一环。由于不同厂家刀轮品质、刀轮型号、齿形、齿数、角度存在差异，生产过程中刀轮切割线破裂形态不同，产生玻璃粉尘和掰断效果也不同，如与生产工艺不匹配，可批量产生ADG。

（5）生产现场环境压差或气流发生变化。

为保证玻璃品质，TFT-LCD液晶基板玻璃生产现场各区域之间对环境压差控制非常严格，如现场环境压力波动或气流发生变化，将导致空气中细小玻璃粉尘乱飘扬，如吸附至玻璃表面可形成ADG缺陷。

（6）现场卫生清扫、操作人员数量及流动等影响。

在TFT-LCD热切加工区域，其洁净度要求较高（1000级），如现场卫生清洁、操作人员无序流动频繁使现场洁净超标，均可使飞散在空气中细小粉尘粘附于玻璃表面，形成ADG。

改善措施

（1）选择优质刀轮。

适合现场生产工艺的切割刀轮，可有效提高划线质量、产量，刀轮使用寿命；有效降低划线过程中崩口导致ADG不受控现象。

不同玻璃厚度选择不同的齿形刀轮有利于切割，刀轮角度越小，齿数越多，切割时磨损越大，刀轮寿命就越低；反之，刀轮角度越大，齿数越少，磨损就越小，但可能在玻璃表面打滑无法破开玻璃影响切割，刀轮使用寿命则可能较低。厚度0.2mm、0.3mm超薄基板玻璃一般选择：刀轮角度105°、φ2.0全刃齿刀轮、齿深3~?5N、齿数300~450齿；而厚度0.4mm、0.5mm基板玻璃可选择：角度115°~125°、φ3mm全刃齿刀轮、齿深5~8N、160齿刀轮。

（2）优化割刀机构精度。

对刀压系统的精密调整措施进行技术改造，实现精准划线，减少玻璃粉尘，从而降低ADG发生几率。?

从玻璃切割原理可知，刀轮的压力与刀轮切入基板玻璃的深度密切相关，不同刀轮角度所需的压力不同，不同的玻璃表面温度，其切割硬度也不同。因此，采用在切割机上设计一套精密调压阀和低摩擦气缸系统，根据不同玻璃厚度、温度精准调整压力，减少玻璃粉尘，降低ADG缺陷，提高玻璃良率。

（3）优化掰断工艺。

通过横切和纵切划线过程，可知因玻璃形状原因，整个划线产生的微裂纹深度是不均匀的，而吸盘吸附及掰断动作是一致的，没有区别对待，那么微裂纹浅的区域掰断时就极易产生团状ADG。对这种情况，可以优化掰断动作。在掰断时玻璃板是必定会靠住砧板条的。通过调整吸盘、机器人位置等手段，使玻璃在掰断开始时处于悬空状态，达到微裂纹扩展的目的，到一定角度后玻璃板再靠住砧板条进行掰断。微裂纹经过扩展后裂纹深度增加，再掰断就减少了硬掰断产