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本发明公开了一种长波长面发射激光器及其制作方法，包括：由下及上依次设置的InP衬底层、InP缓冲层、N型接触层、N‑DBR、N间隔层、多结级联有源区、P间隔层、掩埋隧道结、InP填平层、混合介质镜、P型接触层；其中，N‑DBR固接在InP缓冲层的顶端，N型接触层环绕N‑DBR设置；多结级联有源区通过N间隔层固接在N‑DBR的顶端；多结级联有源区的顶端为p间隔层，p间隔层的上边为InP填平层包围的掩埋隧道结；InP填平层的顶部为混合介质镜。本发明的长波长面发射激光器结构提高了激光器输出光束的单色性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117856038A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410042680.7
(22)申请日2024.01.11
(71)申请人深圳技术大学
地址518118
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