柔性显示用玻璃制造加工进展综述.docx

0引言

电子玻璃作为显示产品的关键基材，随着显示产业的高速发展，不断趋于大型化、轻薄化，其板幅经历了5G向11G的世代变革，厚度从0.7mm到0.4mm，甚至向0.2mm方向发展，厚度≤0.1mm的柔性玻璃在此背景下应运而生。柔性玻璃除了具有平板玻璃的物理化学性能外，还具有柔韧性好、弯曲强度高的性能，在柔性显示器、ITO导电膜玻璃基板、OLED照明和柔性薄膜太阳能电池等领域具有广泛的应用前景，成为当今乃至未来最具潜力的新兴材料之一。目前，市场上发布的柔性显示产品多采用高分子聚合物基板。高分子聚合物材料虽具有成本低、柔性好、不易碎的优点，但其表面平整度、热稳定性、透光性和阻水阻氧性均不及柔性玻璃。因此，柔性玻璃替代高分子聚合物将成为不可阻挡的趋势。

1柔性玻璃料方体系

国外各大玻璃公司发布的柔性玻璃产品详情见表1。对这些柔性玻璃，按玻璃组成是否含有碱金属氧化物，可分为无碱玻璃和含碱玻璃。无碱玻璃指碱金属氧化物（Na2O，K2O）小于0.1%（质量分数）的玻璃，如无碱硼铝硅酸盐玻璃，主要作为TFT（薄膜晶体管ThinFilmTransistor）和CF（彩色滤光片ColorFilter）基板，替换CPI膜（透明聚酰亚胺ColorlessPolyimide）应用于LCD/OLED显示面板中。含碱玻璃是碱金属氧化物大于0.1%（质量分数）的玻璃，可分为钠钙硅酸盐玻璃和碱铝硅酸盐玻璃。钠钙硅酸盐玻璃多作为触控玻璃用于TN、STN显示触控模组中；碱铝硅酸盐玻璃，即盖板玻璃，经化学强化后作为保护层同聚酰亚胺PI薄膜结合用于LCD/OLED显示产品中。

表1国外柔性玻璃厂家及代表产品

2柔性玻璃制备成形技术

（1）溢流下拉法

溢流下拉法是基板玻璃和高铝盖板玻璃主流生产方法，该技术由美国康宁公司于1967年发明；经1972年增加板根冷却机构，2005年溢流砖的改进，形成整套成熟的溢流下拉工艺，如图1所示。溢流下拉法凭借玻璃自身重力而拉薄，玻璃两表面在成形退火过程中不与外界材料接触，成品表面光滑无暇，平整度好，无需进行研抛等后续加工。且玻璃两面可采用对辊控制，同时加热或冷却，适合表面质量要求高的柔性玻璃制造。但该工艺是将玻璃液汇合于溢流砖尖以形成板根，存在基础厚度，增加了展薄的难度。

图1溢流下拉法结构示意图

为保证柔性玻璃厚度及板面品质，国外公司对溢流下拉法的装备工艺不断改进，尽可能减少或避免方法弊端。2011年，用溢流下拉法生产厚度为10～200?μm玻璃基板的方法指出在退火点或更高的温度区就开始控制冷却速率，对玻璃厚度、残余应力及翘曲质量具有重大影响。2012年，文献介绍了溢流下拉制备柔性玻璃成形、玻璃带传动及切割成套生产工艺。同年，便发布了溢流下拉生产的0.1mm厚度的“willow”玻璃，目前多为科研生产机构研究使用。

（2）浮法

上世纪50年代末，英国皮尔金顿玻璃公司向世界宣布玻璃浮法成形工艺研制成功。浮法工艺如图2所示。该方法将熔融玻璃液输送至液态锡槽，玻璃液密度低，漂浮在锡液表面成形。产能规模大、生产产品规格全。若用此法生产柔性玻璃，需要增加多对拉边机、牵引辊来克服玻璃液重力和表面张力的作用实现厚度的减薄。另外，由于玻璃带浮于锡液表面，下表面会形成渗锡层，需要进一步的加工处理。2018年，秦皇岛玻璃工业研究设计院改造现有浮法成型设备，解决二次下拉板宽受限问题，通过浮法工艺，两次水平拉伸，将玻璃拉薄至100?μm以下。中建材集团蚌埠玻璃工业设计研究院不受国外技术掣肘，2014年6月，采用浮法技术研制出0.33mm的超薄玻璃；2014年4月，产品厚度突破0.15mm；2018年4月，拉制出了0.12mm的超薄玻璃，据相关信息披露，这也是目前世界上使用浮法工艺批量生产的最薄玻璃。

图2浮法工艺示意图

（3）狭缝下拉法

20世纪末，德国肖特公司开发出狭缝下拉技术，如图3所示。狭缝下拉法是将熔融的均质玻璃液导流入均匀发热的铂铑储槽中，经铂金漏板的狭缝流出，拉边机、牵引辊拉引而成。目前采用该工艺可生产出厚度0.03～0.1mm的柔性玻璃产品。

图3狭缝下拉法结构示意图

该方法适宜生产黏度较小的柔性玻璃，占地少，建设周期短。但产品表面的平整度、生产的稳定性易受到狭缝形状的影响。这是因为高温快速拉引过程中，铂金漏板长时间承受较高的应力易发生形变，导致狭缝的宽度不一致，流经狭缝的玻璃液会出现厚度不均的缺陷。

（4）再拉法

将向下输送的玻璃板通过电加热的方式重新加热至软化点附近，软化后的玻璃板继续向下方延伸经拉薄而制得超薄玻璃的方法称为再拉法，如图4所示。日本电气硝子是这方面研究较早的玻璃生产商。欲通过该方法实现柔性玻璃的制备，对预成型坯（母材玻璃）与自动热接合玻璃板接缝处的质量要求极高，母材玻璃的尺寸精度、拉引