纳米级元件设计与制造工艺;纳米电子基础理论与建模
纳米器件设计与仿真工具
纳米器件制造材料与工艺
纳米器件可靠性评估与测试
纳米器件在集成电路中的应用
纳米器件在微机械系统中的应用
纳米器件在生物医学领域的应用
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