玻璃基板制造过程中的传送方式.docxVIP

在现有玻璃基板的制造过程中，大体上采用了垂直传送法、水平传送法、气浮无接触传送法以及各传送法交叉运用方式，分析这几种不同的传送方式在玻璃基板制造过程中的应用。

（1）垂直传送：垂直传送适用于溢流熔融法生产的玻璃基板，其传送方式为：玻璃基板通过熔炉成型出来后，垂直向下流入洁净等级小于1000级的洁净间，再用机械手臂，在玻璃基板非品质区（＜10mm）内夹持玻璃上端，使整个玻璃呈自然垂直状态，机械手夹持玻璃后，将玻璃放置于自动化传输系统内，即可达到垂直传送的目的。优点：玻璃基板刚从熔炉退火出来时，玻璃表面温度可高达300℃以上，任何一点的人为接触都会在玻璃基板表面留下缺陷，采用此法可尽量避免污染，不会造成玻璃板表面的人为划伤，对玻璃基板后续制程有决定性的作用。缺点：玻璃基板夹持距离较短，容易发生玻璃滑落现象，玻璃在传送时，呈现自然垂直，容易受气流影响发生晃动，从而导致与设备的碰撞。图1为垂直传送示意图。

图1垂直传送示意图

（2）水平传送：此方法适用于浮法生产的玻璃基板（以日本AGC为代表），其传送方式为：玻璃基板通过熔窑出来后，水平流入通有保护气体（N2及H2）的锡槽中，再通过主传动和拉边机的外力作用，形成一定宽度、厚度的玻璃，经过成形冷却后，传送至退火窑，然后使用PVC材质的滚轮，水平方向搬送玻璃基板，传送至各制程端。优点：熔融玻璃从熔窑中流入并漂浮在相对密度大的锡液表面上，在重力和表面张力的作用下，玻璃液在锡液面上铺开、摊平、形成表面平整、没有波筋、厚度均匀的玻璃基板，其产品的透明度较强，因为经过锡面的处理，比较光滑，在表面张力的作用下，形成了一种表面比较整齐、平面度比较好，光学性能比较强的特性。缺点：玻璃在水平传送至锡槽时，由于使用了金属锡液作为浮抛介质，氮气和氢气混合气体作为保护气体，在相对密闭的环境中，发生着许多复杂的化学反应，这些化学反应中的一些产物将带来很多玻璃缺陷，影响产品质量；其次，玻璃上表面相对于下表面来说更加光滑，因为下表面全面接触锡液，不可避免地会留下些许痕迹，导致平滑度不及上表面。水平传送示意图见图2。

图2水平传送示意图

（3）气浮传送：此方法适用于精加工后的玻璃基板，其传送方式为：玻璃基板经过精加工后，已达到客户要求，此时为了最大程度地保障玻璃基板的品质稳定性，通常在洁净间中通过非接触式气浮传送的方式来传送玻璃基板。在传送过程中，玻璃基板的下边缘位于气浮条底部的滚轮上，通过滚轮的转动推动其移动，气浮装置位于玻璃基板背部，呈倾斜约80°，通过洁净压缩气体（CDA）吹拂，使得玻璃基板悬浮其上运送。优点：气浮装置通常包括由多根气浮条组成的气浮条组，在传送过程中玻璃基板与气浮条之间的距离通常为0.1~2mm，为了保证玻璃基板品质，气浮条组与玻璃基板之间不会有任何接触，且气浮条自身表面有很高的平面度要求，通常控制在0.05mm以下，这样也保证了玻璃基板通过气浮条时，不会与气浮条产生摩擦导致刮伤。缺点：玻璃基板之所以考虑呈约80°倾斜传送，是避免90°垂直传送时玻璃会有被CDA吹落的风险，如果是水平气浮传送，则玻璃基板会漂浮在气浮条上，无法有效控制玻璃行进方向，同时需要更大量的CDA来保证水平传送所需的吹气量。气浮传送示意如图3所示。

图3气浮传送示意图