原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种碳化硅长晶炉测温法兰，包括炉顶盖，炉顶盖包括一中心法兰，中心法兰上方安装有测温法兰，测温法兰的底部开设有密封圈槽，密封圈槽内填充有第二密封圈，测温法兰与炉顶盖之间真空密封，测温法兰与炉顶盖之间通过螺栓连接；测温法兰的上端开设有观察窗，观察窗与测温法兰之间安装有第一密封圈，观察窗的上部通过压板法兰压紧，且观察窗与压板法兰之间设有密封垫片；测温法兰的下端为双层水冷结构，双层水冷结构上开设有进水口和出水口，测温法兰的内壁设有吹扫气口，吹扫气口倾斜向上开设，吹扫气口的开设方向朝向观察窗。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117888185A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202311756635.X
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司
地址
文档评论（0）