《三氯氢硅合成工艺的设计计算》2400字.docxVIP

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三氯氢硅合成工艺的设计计算

TOC\o1-2\h\u29261三氯氢硅合成工艺的设计计算 1

52564.1三氯氢硅合成工艺参数 1

3480（1）气体工作压力[13] 1

29586（2）工作温度 1

155684.2传热面积的计算 2

254734.3催化剂用量的计算 2

195494.4传热管数的计算 2

36954.5管子排列方式，管间距的计算 2

225194.6壳体直径的计算 3

31508式中：a=40mm 3

178764.7合成工艺壳体厚度的计算 3

286074.8合成工艺封头的计算

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