SJ 21263-2018 MEMS 加速度传感器参数标定工艺技术要求.pdf

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中华人民共和国电子行业标准

FL6117SJ21263-2018

MEMS加速度传感器参数标定工艺

技术要求

TechnicalrequirementsforMEMSaccelerationtransducerparameter

calibrationprocess

2018-01-18发布2018-05-01实施

国家国防科技工业局发布

SJ21263-2018

刚昌

本标准由中国电子科技集团公司提出。

本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口。

本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所。

本标准主要起草人：张佳寅、杨拥军、沈隆主－至固霞、i玉民、苏日丽、卢新艳。

SJ21263-2018

MEMS加速度传感器参数标定工艺技术要求

1范围

2规范性引用文件

下列文件中世睬~

修改单（不包含世Ii~~

是否可使用这剧

4一般要求

4.1人员要求

人员要求如下：

a)操作人员应经过专业岗位技术培训，经考核合格后持相应的岗位资格证上岗；

b)操作人员应穿戴防静电工作服和工作鞋帽，对静电敏感器件操作时应正确使用防静电装置，并

用防静电容器进行存放或转运：

c)操作人员应熟悉队伍MS加速度传感器标定工艺技术要求并严格按照工艺文件进行操作；

d)操作人员应熟悉并执行相关的工艺卫生和安全条例，认真填写各种工艺记录。

4.2环境要求

4.2.1标定环境要求

标定环境温度、相对湿度、大气压、热环境、供电环境应符合产品要求，无特殊规定时标定环境要

求如下：

SJ21263-2018

a)标定环境温度：“℃～35℃；

b)相对湿度：20%～80%;

c)环境大气压：“kPa～106kPa;

d)供电环境：供电电源的阻抗、电压、频率、纹波、预热及工作电流应符合产品要求。

4.2.2工作场所要求

工作场所要求如下：

a)工作场所测试台的基础应稳定、振动小：

b)防静电‘设施应满足GJB3007的要求：

c)工作场所电磁环境、电路边接及接地应符合.，.，..品要求；

d)工作场所应整洁有序，有良好的照明条件。

4.3安全要求

安全要求如下：

a)检查水路、电路和气路，消除安全隐患；

b)设备应接地应可靠、安全，具有防漏电保护措施：

c)按设备操作规程进行操作，防止事故的发生。

4.4设备、仪器要求

常用设备、仪器见表l，设备、仪器要求如下：

a)设备应定期进行检定，仪器应定期进行校准，并在有效期内使用：

b)仪器的测量范围应满足参数标定要求；

c)测试设备接地应符合相关规定，以免加速度传感器在电、机械、热等方面过载或输入量过大：

d)测试参数的容差与测试仪器精度的比值通常情况下不小于10:1：特殊情况下不小于4:1：由于

缺少相应国家标准，不能有效达到4:1时，应说明情况并形成文件；

e)搭建的标定系统应进行验证，确认能够满足参数标定要求：

。标定用软