SJ 21264-2018 MEMS 加速度传感器测试方法.pdf

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中华人民共和国电子行业标准

FL6117SJ21264-2018

MEMS加速度传感器测试方法

TestmethodsforR哑EMSaccelerationtransducer

2018-01一18发布2018-05-01实施

国家国防科技工业局发布

SJ21264-2018

目次

前言．．．．．．．．．．．．．．．．．．……·………··…．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．··…………·………··……·…····…………n

2

3

5.5

5.6

5.7

5.8

5.9

5.10

5.11

5.12

5.13

I

SJ21264-2018

目IJ~

本标准由中国电子科技集团公司提出。

本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口。

本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所。

本标准主要起草人：张佳寅、杨拥军、沈路、李丽霞、市玉民、肖成盛、王玉奎。

II

SJ21264-2018

MEMS加速度传感器测试方法

1范围

下列文件中的，如

修改单〈不包含jjll~..r.

是否可使用这业l

3.1

MEMS加速

采用b伍MS~I--

括伏特（V）、，4

3.2

带宽bandwidth

旺MS加速度传t~揣阳

3.3

短期稳定性short-termstability

沁1EMS加速度传感揣在一个工作用期内、同一测试条件下重复测盘的参数之间的一致程度。通常包

捐偏值短期稳定性和标皮囚数短期稳定性．

3.4

短期重复性short-termrepeatability

MEMS加速度传感器在同样的条件下及规定的问隅内重复测量的参数之间的一致程度．通常包括偏

值短期重复性和标度囚数短期重复性．

SJ21264-2018

4一般要求

4.1环境要求

4.1.1测试环境要求

除另有规定外，应符合下列规定：

a)环境温度：15℃～35·c;

b)环境相对温度：20%～80%;

c)环境气压：“kPa～106kPao

4.1.2仲裁环境要求

除另有规定外，应符合下列规定：

a)环境温度：25℃士i℃：

b)环境相对湿度：48%～52%;

c)环境气压：“kPa～106kPa。

4.2测试要求

测试要求如下：

a)b伍MS加速度传感器供电电源的阻抗、电压、频率、纹波、预热及工作电流都应符合产品要求；

b)b伍MS加速度传感器安装时，测试夹具和安装方式应保证h在EMS加速度传感器输入基准轴与测

试台之间的对准精度符合产品规范或技术文件要求：

c)所有测试应在MEMS加速度传感器处于热平衡下进行；