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《半导体制造真空腔体零部件表面保护涂 层》标准文本附编制说明 .pdfVIP

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  • 2024-04-26 发布于浙江
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《半导体制造真空腔体零部件表面保护涂 层》标准文本附编制说明 .pdf

    ICS25.220.20

    CCSA29

    CASME

    中国中小商业企业协会团体标准

    T/CASMEXXXX—XXXX

    半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层

    Semiconductormanufacturingprotectivecoatingonthesurfaceofvacuumcavity

    parts

    （征求意见稿）

    在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

    XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

    中国中小商业企业协会  发布

    T/CASMEX

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