微机电系统的学习.ppt

传统的光传感器光传感方式成像系统(Imager)CCDCMOS发光系统LED半导体激光器等离子生物发光光调节器第32页,共56页，2024年2月25日，星期天发光器件场发射（FEDs）未来的显示设备(FPD)第33页,共56页，2024年2月25日，星期天新器件——组件微镜MirrorSupportStructureSubstrateHingesTorsionHinges1stDOF2ndDOFForce-redirectingLinkage第34页,共56页，2024年2月25日，星期天各种光学元器件透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构新器件——组件第35页,共56页，2024年2月25日，星期天微光学系统微光学工作台（MicroOpticalBench）第36页,共56页，2024年2月25日，星期天微型显示阵列（光调制器）数字镜面显示（DMD）原理改变反射方向第37页,共56页，2024年2月25日，星期天DMD——应用第38页,共56页，2024年2月25日，星期天DMD——应用第39页,共56页，2024年2月25日，星期天光开关微机械1X4光开关微机械1X8光开关第40页,共56页，2024年2月25日，星期天

微机械2?2光开关微机械2?2光开关光开关第41页,共56页，2024年2月25日，星期天光纤固定结构V形槽各种卡紧结构第42页,共56页，2024年2月25日，星期天光栅及光栅光谱仪原理不同类型的光栅第43页,共56页，2024年2月25日，星期天第44页,共56页，2024年2月25日，星期天新器件——组件线性马达第45页,共56页，2024年2月25日，星期天弧形梳齿原理应用静电第46页,共56页，2024年2月25日，星期天静电旋转马达原理第47页,共56页，2024年2月25日，星期天美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。微推进器第48页,共56页，2024年2月25日，星期天美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。微推进器第49页,共56页，2024年2月25日，星期天美国TRW公司、航空航天公司和加州理工学院（CIT）组成的研究小组提出了一个“数字推进概念”方案。硅片上有集成电路来开启和控制每个微推进器。整个推进系统还可充当卫星的散热器，以进一步减小卫星的有效载荷。制作方法可以用目前已成熟的MEMS及LIGA技术。图为他们于99年初发表了3×5阵列的电阻电热式微推进器样机。微推进器第50页,共56页，2024年2月25日，星期天新概念的微型双组元火箭发动机结构图组成:由5到6片芯片叠在一起，内有混合燃烧室、喷口喷管、两个泵和两个阀以及冷却管道的多器件集成系统。用液态氧和乙醇作燃料性能：能产生15N的推力，推力重量比达1500:1，是大火箭推进器的10~100倍，反映了微系统的潜力微推进器第51页,共56页，2024年2月25日，星期天结束语第52页,共56页，2024年2月25日，星期天MEMS技术及其产品的增长速度非常之高，并且目前正处在加速发展时期MEMS技术第53页,共56页，2024年2月25日，星期天MEMS技术第54页,共56页，2024年2月25日，星期天一般意义上的系统集成芯片广义上的系统集成芯片电、光、声、热、磁力等外界信号的采集—各种传感器执行器、显示器等信息输入与模/数传输信息处理信息输出与数/模转换信息存储第55页,共56页，2024年2月25日，星期天感谢大家观看第56页,共56页，2024年2月25日，星期天关于微机电系统的学习引言信息系统微型化系统体积大大减小性能、可靠性大幅度上升功