parylene coating材料 应用 设备介绍.docx

一．Parylene敷形材料介绍

Parylene是上世纪六十年代中期美国UnionCarbide公司开发的一种新型敷形涂层材料，它是一种对二甲苯聚合物，由分子结构的不同，可分为N型、C型、D型、HT型等。每种类型都具有不同的特性，要根据具体应用的确切性质选出最适宜的Parylen的种类。它可以涂敷到各种形状的表面，在盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中显示了很好的隔离防护功能。Parylene性质：

这种涂层逐渐形成一种均衡的、共形的薄膜，均匀覆盖暴露在外的基底表层的边角。Parylene的沉积不会产生液相或气相的副产品，无需溶剂及其他受环保要求所限制的材料。Parylene的其他性质还包括：

·Parylene具有实用的绝缘和屏障特性，同时具有极端的化学惰性，不受针孔的困扰。它能防有机溶剂、防无机试剂且防酸。由于Parylene在整个过程中的任何阶段都不会呈现液态，因而它不会聚集、桥接或者因为虹吸作用而产生液面弯曲。

·由于自身很薄，Parylene的机械减震和负载特性极小。这种材料可以涂抹在许多种基底的

表面。这些基底包括玻璃、金属、纸张、树脂、塑料、陶瓷、铁氧体，甚至人造橡胶以及粉末状与颗粒状物质等。

·Parylene的静态和动态摩擦系数在0.25~0.33之间，其干膜的光滑程度对涂层材料的某些应用来说是一个重要的属性。

Parylene材料的应用：

Parylene能在0.2μm厚时无针孔，5μm厚时耐1000V以上直流击穿电压，同时又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能优异。因此，在微电子机械系统中，Parylene除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

Parylene应用：目前，从普通领域到不为人知的领域，Parylene都有应用，其所涵盖的应用市场从太空深处的飞行器、汽车发动机一直到心脏调搏器、军事电子产品等。可以预见，得益于自动化沉积设备的出现，不同技术领域对这种聚合物的日益熟悉，以及涂敷效率的不断改进等等，Parylene的应用广度将进一步得到拓宽。以下是目前几种有代表性的应用：电子传感器。通过使用Parylene涂层，人们无需在精细的传感器表面进行物理性加载就可达到环保要求。

测量器件。多用途遥控测量电路的消耗据报告称正在不断增加，这些电路必须确保能在要求

的环境条件下运转，而Parylene涂层能对潮湿、溶剂和其他污染物的侵蚀起到长效保护作用。

航天应用。利用Palylene的一些独特性质实现空间强化，防止由于极端温度变化导致的浓缩，限制气体排出等。

军事电子应用。在航空通讯和航海设备的电路上应用Palylene涂层电路，可以满足与宇航

应用情形相类似的要求。

电子门禁系统。为了保护旅馆的安全而安装的电子门禁系统的电路就可以应用Palylene膜，从而免受冷凝与腐蚀作用的破坏，这一点在沿海地区尤为重要。

医疗设备。在应用于外科手术的医疗设备上有选择性地涂敷Parylene，可以提高设备的光滑度及可选择的电绝缘性。这种涂层也能起到保护和润滑皮下注射用针头的作用，还可以在可移植的器件和修复手术用部件的表层产生一种非排斥性生物屏障。

硅键盘。许多系统都采用硅胶键盘输入数据，Palylene涂层经常被涂覆于硅胶键盘的表面，用来保护键盘上的印刻数字和图形免受手指上的油脂或其他东西的污染。

铁氧体磁芯。在铁氧体磁芯表层涂敷Parylene是出于以下目的：这种涂层可以为磁芯提供电介质的绝缘，避免电损耗，而对实际体积的大小不会有实质性改变；它还可以通过去除灰尘和污染来加固铁氧体和模压金属部件的表面。

未来发展。美国专利局的纪录显示，2002年有267项被授予的专利提到了Parylene的某种应用。这些应用包括图像制作设备，半导体加工制造，可移植压力传感器，消毒药涂敷设备和微流体控制装置的制造等。Parylene将继续挖掘产品的潜力，利用它的独特属性来解决一

些特殊的问题。其未来的应用包括：

微电子机械系统（MEMS），这是当前较受瞩目的工业技术之一，它的特色在于微小设备可以通过集成电路制造业的设计和生产方法来制造。MEMS的精微部件用以把一些机械部件合并，如齿轮、控制杆、螺丝、阀门、微型发动机和微型泵等。Parylene已经通过一种MEMST工艺成功应用于微流体控制器件，在这种器件中通过的流体会和器件本身的组成材料不相容，因而Parylene成为流体的保护屏障。另外，Parylene可以制成某些机械部件，用在这种微小系统的泵和阀门中。最后，在MEMS器件的加工和封装工艺中，Parylene也被认为可以充当预期的释放层。

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