压电式传感器.ppt

对此式可用两种电路来等效压电式传感器：电压等效电路：一个电压源与一个电容Ca串联构成，此电路输出为电压源两极板间的开路电压为只有在外电路负载无穷大，且内部无漏电时，受力产生的电压U才能长期保持不变；如果负载不是无穷大，则电路就要以时间常数RLCa按指数规律放电。电荷等效电路：电荷源与一个电容Ca并联构成，此电路输出为此时，该电路被视为一个电荷发生器。电荷源第32页,共53页，2024年2月25日，星期天压电传感器在实际使用时要与测量仪器或测量电路相连接，因此还必须考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri和输入电容Ci，以及压电式传感器的泄漏电阻Ra，这样压电式传感器在测量系统中的等效电路就应如图所示。压电式传感器的灵敏度有两种表示方式：电压灵敏度：Ku=U／F，它表示单位力所产生的电压；电荷灵敏度：Kq=Q／F，它表示单位力所产生的电荷。它们之间的关系是电压源等效电路电荷源等效电路第33页,共53页，2024年2月25日，星期天二、压电式传感器的信号调理电路压电元件实际上可以等效为一个电容器，因此，它也存在着与电容传感器相同的问题，即具有高内阻（Ra≥1010Ω）和小功率的问题，对于这些问题可以使用转换电路来解决。为了保证压电传感器的测量误差小到一定程度，则要求负载电阻RL要大到一定数值，才能使晶体片上的漏电流相应变小，因此在压电传感器输出端要接入一个输入阻抗很高的前置放大器，然后再接入一般的放大器。其目的：一是放大传感器输出的微弱信号，二是将它的高阻抗输出变换成低阻抗输出。根据前面的等效电路，压电传感器的输出可以是电压，也可以是电荷，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。1.电压放大器2.电荷放大器第34页,共53页，2024年2月25日，星期天设R为Ra和Ri并联等效电阻，C为Cc和Ci并联等效电容，则1.电压放大器（阻抗变换器）压电传感器的开路电压，若压电元件沿电轴方向施加交变力，则产生的电荷和电压均按正弦规律变化，压电元件上产生的电荷量为d——压电元件所用压电材料的压电系数。其电压为电压的幅值送到放大器输入端的电压为第35页,共53页，2024年2月25日，星期天因此，前置放大器的输入电压的幅值输入电压和作用力之间的相位差在理想情况下，传感器的绝缘电阻Ra和前置放大器的输入电阻Ri都为无限大，即ωR(Ca+Cc+Ci)1，也无电荷泄漏。那么，在理想情况下，前置放大器的理想输入电压的幅值第36页,共53页，2024年2月25日，星期天它与实际输入电压Uim之幅值比为得到电压幅值比和相角与频率比的关系曲线。当作用于压电元件上的力为静态力（ω=0）时，则前置放大器的输入电压等于0。因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身的漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态测量。当3＞?/?n＞1，即3＞?τ＞1时，前置放大器输入电压Uim随频率变化不大，当?/?n?3时，可近似认为输入电压与作用力的频率无关。这说明压电传感器的高频响应比较好，所以它用于高频交变力的测量，相当理想。测量电路的时间常数令?n=1/τ=1/R(Ca+Cc+Ci)第37页,共53页，2024年2月25日，星期天图a给出了一个电压放大器的具体电路。它具有很高的输入阻抗（?1000MΩ）和很低的输出阻抗（＜100Ω），增益为0.96，频率范围为2~100kHz，因此使用该阻抗变换器可将高内阻的压电传感器与一般放大器匹配。图b是由运算放大器构成的电压比例放大器。该电路输入阻抗极高，输出电阻很小，是一种比较理想的石英晶体的电压放大器。(a)(b)第38页,共53页，2024年2月25日，星期天2.电荷放大器电荷放大器是一个有反馈电容Cf的高增益运算放大器。当略去Ra和Ri并联等效电阻R后，压电传感器常使用的电荷放大器可用如图所示的等效电路表示。图A为运算放大器的开环增益。由于运算放大器具有极高的输入阻抗，因此放大器的输入端几乎没有分流，电荷Q只对反馈电容Cf充电，充电电压接近放大器的输出电压，即式中Uo——放大器输出电压；UCf——反馈电容两端的电压由运算放大器基本特性，可求出电荷放大器的输出电压当A?1，且满足（1+A）Cf＞10（Ca+Cc+Ci）时，就可认为。可见电