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太阳电池制造

工艺流程、工艺原理及工艺卫生

太阳电池制造过程(流程图)

带有*的为关键工艺，需对结果进行测量，必须满足设计值。

磷扩散形成p-n结*

甩干

■硅片装盒

硅片腐蚀去除硅片损伤层(和形成绒面)

■漂洗干燥

太阳电池制造过程(一)

磷扩散形成p-n结

等离子体边缘腐蚀

■腐蚀表面磷硅玻璃

■硅片烘干

太阳电池制造过程(二)

PECVD沉积SiN

利用硅烷(SiH₄)与氨气(NH₃)在等离子体中反应。

SiH₄+NH₃→SiNH+3H₂

2SiH₄+N₂→2SiNH+3H₂

太阳电池制造过程(三)

太阳电池制造过程(四)

丝网印刷和烧结

■分类检测

■包装入库

太阳电池制造过程(五)