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公司深度报告
正文目录
1、2023年收入利润同比高增长,各品类机台快速放量5
2、24Q1新品订单确认节奏拖累收入增速,饱满在手订单保障单季和全年出货同比高增长6
3、公司PECVD设备实现全系列薄膜种类覆盖,持续提升ALD/SACVD/HDPCVD工艺覆盖率7
4、晶圆混合键合设备行业发展未来可期,公司新品已开始贡献收入12
5、2024年国内头部Fab采招提速,国内设备订单和收入有望同比高增长18
风险提示19
图表目录
图1:拓荆科技收入及增速5
图2:拓荆科技PECVD设备收入及增速5
图3:拓荆科技毛利率6
图4:拓荆科技利润水平(亿元)6
图5:拓荆科技在手订单(不含DEMO机台)7
图6:拓荆科技存货结构(亿元)7
图7:公司设备反应腔出货数量(个)7
图8:薄膜沉积设备品类占比(红色为拓荆面向领域)8
图9:薄膜沉积在逻辑芯片中应用图示8
图10:薄膜沉积在3DNAND存储芯片中应用图示9
图11:薄膜沉积在DRAM存储芯片中应用图示9
图12:拓荆科技PECVD产品布局10
图13:拓荆科技紫外线固化产品布局10
图14:拓荆科技ALD产品布局11
图15:拓荆科技沟槽填充类设备布局12
图16:晶圆对晶圆混合键合设备工艺原理12
图17:长江存储Xtacking技术应用晶圆键合工艺13
图18:CO-D2W工艺流程14
图19:DP-D2W工艺流程14
图20:逻辑芯片先进封装中键合步骤提升16
图21:存储芯片先进封装中键合步骤提升16
敬请阅读末页的重要说明3
公司深度报告
图22:不同芯片需要的键合工艺流程16
图23:混合键合推动异构集成结构中的摩尔定律发展17
图24:混合键合设备出货量增长趋势17
图25:拓荆科技晶圆键合设备18
图26:全球半导体设备销售额(亿美元)18
图27:不同地区半导体设备销售额(亿美元)18
图28:拓荆科技历史PEBand21
图29:拓荆科技历史PBBand21
表1:混合键合工艺的应用13
表2:不同封装形式带来键合工艺的进步15
附:财务预测表23
敬请阅读末页的重要说明4
公司深度报告
1、2023年收入利润同比高增长,各品类机台快速放量
公司2023年收入同比高增长,远超股权激励设定的考核目标值。拓荆科技2023
年实现收入27亿元,同比+58.6%,2019年至今收入CAGR为81%。按照公司
2022年股权激励目标,2023年收入较2021年增长不低于200%即不低于22.7
亿元,公司2023年收入同比2021年实际增长257%,远超股权激励方案设立
的目标值。
按照公司2023年股权激励方案,2024/2025/2026年收入触发值同比2022年增
长不低于85%/145%/190%,对应收入不低于31.6/41.8/49.5亿元;
2024/2025/2026年收入目标值同比2022年增长不低于95%/160%/210%,对应
收入不低于33.3/44.4/52.9亿元。
PECVD设备持续放量,ALD和SACVD设备收入快速增长,混合键合设备新品
开始贡献收入。①2023年PECVD机台收入23.2亿元,同比+48.
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