《真空技术+真空计+用于分压力测量的四极质谱仪特性gbz+42625-2023》详细解读.pptx

《真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性gb/z42625-2023》详细解读

contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义4符号和缩略语5不同应用状况下要求或推荐的特征参数5.1一般要求5.2QMS的一般特性5.3漏率测量与监测(氦气泄漏)

contents目录5.4漏率监测(空气泄漏)5.5漏率监测(水泄漏)5.6残余气体分析5.7放气率测试6表征QMS的真空系统6.1一般要求6.2用于表征的单一气体真空系统6.3用于表征的混合气体真空系统7表征与校准程序

contents目录7.1一般要求7.2质量分辨率7.3最小可检分压力(pMDPP)7.4最小可检浓度(CMDC)7.5动态范围7.6灵敏度与干扰效应比7.7线性响应范围7.8相对灵敏度系数7.9图形模式(裂解模式)

contents目录7.10QMS的放气率7.11QMS的抽速8测量不确定度8.1一般要求8.2质量分辨率的不确定度8.3pMDPP的不确定度8.4最小可检浓度的不确定度(CMDC)8.5动态范围的不确定度8.6灵敏度的不确定度

contents目录8.7线性响应范围的不确定度8.8相对灵敏度系数的不确定度8.9图形系数的不确定度8.10放气率和抽速的不确定度8.11QMS特性参数的长期稳定性9报告结果附录A(资料性)不同流动状态下,由泄漏元件前置存储容器内的已知气体混合物,估算测量室内的气体成分

contents目录参考文献

011范围

本标准规定了用于分压力测量的四极质谱仪（以下简称质谱仪）的术语和定义、技术要求、测试方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于测量气体成分分压力的四极质谱仪，其它类型的质谱仪可参照使用。本标准不适用于有特殊要求的专用质谱仪。1范围

022规范性引用文件

详细列出所引用的国家标准、行业标准以及国际标准。确保所引用文件的时效性，及时更新并替换过时的引用文件。对引用文件进行归类整理，便于使用者查找和参考。2规范性引用文件

033术语和定义

四极质谱仪一种利用电场或磁场对气体离子进行质量分析的真空计量仪器，可测量分压力。分压力混合气体中某一组分所贡献的压力，通过四极质谱仪可独立测量。灵敏度四极质谱仪对特定质量数离子的响应程度，影响分压力的测量精度。3术语和定义

044符号和缩略语

P表示压力或分压力的符号，单位通常为帕斯卡（Pa）。V表示体积的符号，用于描述与压力相关的容器或空间大小。T表示温度的符号，常用于压力测量中的温度修正。4符号和缩略语

055不同应用状况下要求或推荐的特征参数

03稳定性在连续工作过程中，四极质谱仪应保持良好的稳定性，确保长时间分析结果的可靠性。01灵敏度四极质谱仪应具有高灵敏度，能够检测低浓度的气体成分，确保准确分析样品中的微量组分。02分辨率仪器应具备高分辨率，能够区分不同质量数的气体分子，提高气体分析的准确性。5不同应用状况下要求或推荐的特征参数

065.1一般要求

仪器结构与设计01四极质谱仪应符合相关标准和规范，确保机械结构的稳定性和可靠性。同时，应合理设计各部件，以便于安装、调试和维护。性能指标02四极质谱仪应具备优良的性能指标，包括分辨率、灵敏度、稳定性等。这些指标应满足国家标准或行业标准的要求，以确保测量结果的准确性和可靠性。安全防护03为确保操作人员的安全，四极质谱仪应配备相应的安全防护装置，如防护罩、接地线等。此外，使用前应详细阅读产品说明书，并严格遵守操作规程，防止意外事故的发生。5.1一般要求

075.2QMS的一般特性

123QMS（四极质谱仪）具有高灵敏度，能够测量非常低的分压力，这使得它在真空技术中具有重要的应用价值。可测量极低分压力由于QMS的高灵敏度，它能够准确地检测和识别不同的气体成分，提供精确的测量结果。准确度高高灵敏度确保了QMS在低分压力环境下的稳定性和可靠性，为真空系统的正常运行提供有力支持。可靠性强5.2QMS的一般特性

085.3漏率测量与监测(氦气泄漏)

质谱仪检测利用四极质谱仪对氦气分子进行高精度检测，通过测量氦气分子的分压力来确定泄漏情况。泄漏率计算根据检测到的氦气分压力变化，结合相关参数和公式，计算出泄漏率。灵敏度与准确性高灵敏度的质谱仪能够检测到微小的氦气泄漏，确保测量结果的准确性。5.3漏率测量与监测(氦气泄漏)

095.4漏率监测(空气泄漏)

利用四极质谱仪的高灵敏度，通过监测空气中特定气体的分压变化，从而确定系统的漏气情况。真空计测量法向被检系统充入氦气，通过四极质谱仪检测氦气浓度变化，以此判断漏孔位置和