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FSI清洗机培训教材

目录

一、FSI清洗机介绍：

二、FSI组成及构造功能：

三、软件操作介绍：

四、程序以及输出功能：

五、流量控制：

六、ChemicalAutofill功能介绍：

七、常见故障以及维修方法：

一、FSI清洗机介绍

FSI用途：FSI用于圆片的外表清洗系统，可以去除颗粒、金属离

子以及剥离局部氧化膜；

FSI设备全称：MERCURYMPSurfaceConditionDivisionSystem，

FSI公司早期的SpraySystemProduct；

FSI工作原理：在密封的Chamber中,圆片对称放在Turntable上，

在Turntable的旋转的同时利用N2把Chemical形成高雾化或者低雾

化喷洒在圆片外表，有两个喷嘴：Spraypost和Side-bowlspray

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post，到达去除颗粒、金属离子以及剥离局部氧化膜的目的，然后用DI

Water冲洗圆片外表，最后通过Turntable的高速旋转〔500rpm〕

以及N2Purge来使圆片的外表枯燥。

FSI用到的原料：主要有5种Chemical:H2SO4，HCL，HF，

NH4OH，H2O2；还有DIWater〔去离子水〕、N2和CDA〔压缩

空气〕。

FSI常用工艺菜单：B-CLEAN，S*P5/1，POLY-BCLN，BP-BCLN；

平安措施：设备的每个局部都安装有Interlock开关，制止工艺时翻

开门、盖子等组件，如果Interlock开关被翻开，那么会使设备停机，

工艺中断；警告：工艺时制止对FSI清洗机的任何局部进展任何操作。

设备学习参考资料：FSI清洗机操作规；

6〞FSI清洗机PM操作规；

二、FSI组成及构造功能

FSI由五局部组成，各单元相互独立：

ElectronicConsol；ProcessConsol；CanisterConsol；BoosterPump；

Hellos52DIWaterHeater。〔其中前两局部放在白区，后三局部放在灰

区〕

构造及其功能：

1.ElectronicConsol：监视和控制程序的运行，是系统的核心局

部，部由7个抽屉构成，可以拉出来，便于查看，主要有：286

的单片机以及控制组件，Touchscreen(触摸式显示屏)，软盘驱

动器，流量控制组件以及N2管路的过滤器和压力调节阀；

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2.ProcessConsol：主要由Cover、ProcessChamber、Motor、

Turntable、下排管道、以及流量控制的FOLWPICKUP等，每

次作业可以清洗6批圆片，门盖安装了Spraypost,在chamber

壁上安装了Side-bowlspraypost，这两个Spraypost就是工

艺时的酸液喷嘴。

3.CanisterConsol：主要