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JJG860—2015

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压力传感器(静态)检定规程

1范围

本检定规程适用于测量范围为(一0.1～500)MPa(表压、差压或绝压)的压力传

感器(静态)的首次检定、后续检定和使用中检查。

2引用文件

本规程引用下列文件：

JJF1008—2008压力计量名词术语及定义

GB/T15478—1995压力传感器性能试验方法

GB/T18459—2001传感器主要静态性能指标计算方法

GB/T18806—2002电阻应变式压力传感器总规范

GB/T20522—2006半导体器件第14-3部分：半导体传感器—压力传感器

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规程。

3术语和计量单位

3.1术语

3.1.1静态压力staticpressure

在所研究的领域内，不随时间变化或随时间变化而缓慢变化的压力。[JJF1008—2008定义1.8]

3.1.2压力传感器pressuretransducer

能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出电信号的器件或装置。[JJF1008—2008定义5.1]

3.1.3零点漂移zerodrift

在规定的条件下和时间间隔内，零点输出值的变化量。

3.1.4灵敏度sensitivity

传感器输出变化量与相应的输入变化量之比。[GB/T18459—2001定义2.3.2]3.1.5符合度conformity

正、反行程实际平均特性曲线相对于参比曲线的最大偏差，用满量程输出的百分比来表示。[GB/T18459—2001定义2.3.6]

3.2计量单位

压力传感器使用的法定计量单位为Pa(帕斯卡),或是它的十进倍数单位：kPa、MPa等。压力传感器的输出主要有电压(V、mV)、电流(mA)或频率(Hz)等。

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4概述

压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。压力传感器的结构原理如图1所示。

信号处理单元输出信号

信号处理单元

输出信号

元件

图1压力传感器原理框图

5计量性能要求

5.1准确度等级及基本误差限

压力传感器的准确度等级及基本误差限应符合表1规定。

表1准确度等级及基本误差限

准确度等级

基本误差/限(%)

(以满量程输出值的百分数表示)

0.01

±0.01

0.02

±0.02

0.05

士0.05

0.1

士0.1

0.2/0.25

±0.2/±0.25

0.5

±0.5

1.0

士1.0

1.5

士1.5

2.0/2.5

土2.0/士2.5

4.0

±4.0

5.2重复性

压力传感器的重复性不得大于基本误差限的绝对值。

5.3迟滞

压力传感器的迟滞不得大于基本误差限的绝对值。

5.4线性

压力传感器的线性的绝对值不得大于基本误差限的绝对值。非线性压力传感器对此不作要求。

5.5零点漂移

压力传感器的零点漂移不得大于基本误差限绝对值的1/2。绝压传感器对此不作要求。

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5.6周期稳定性

本次检定的灵敏度与上一周期的灵敏度差值的绝对值，与本次检定的灵敏度的比值为灵敏度周期稳定性，通常以百分数表示，该值不得大于基本误差限绝对值。

5.7静压影响

静压影响只适用于差压传感器，静压零位变化不得大于基本误差限绝对值。

5.8曲线符合度

曲线符合度只适用于非定点使用的非线性传感器，曲线符合度不得大于基本误差限绝对值。

6通用技术要求

6.1外观

6.1.1压力传感器的铭牌应完整、清晰，应具有出厂编号、型号规格、测量范围等信息；产品名称、准确度等级、制造厂的名称或商标、额定工作电压(或电流)、输出信号、最大过载压力、制造计量器具许可标志及编号等信息可以根据情况在铭牌上增加，或在附带的技术文件中进行完整说明；差压传感器的高压(+或H)和低压(一或L)

接嘴应有明确的永久性标志。

6.1.2压力传感器的配套零部件应完好无损，外观不应有影响计量性能的锈蚀或损伤。各部件应装配牢固，不应有松动、脱焊或接触不良等现象。

6.1.3压力传感器的电源输入端和信号输出端应有明确的区别标志，在附带的技术文

件中应对各端子连线进行完整说明。

6.1.4使用中的压力传感器应有上一周期的检定证书，新制造的压力传感器应有出厂合格证书。

6.2密封性

压力值下降(或上升)不得超过试验压力的1%。

6.3绝缘电阻

传感器各组端子(包括外壳)之间