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本申请涉及晶圆储存设备领域,尤其涉及一种多库位晶圆存放拿取装置,其包括仓体及控制系统,仓体为方形设置且内部中空,仓体的两相对内侧均设置有框型料架,框型料架框内由左至右间隔设置有若干料柱,料柱的左右两侧面由上至下间隔设置有若干格槽用于插放晶圆,仓体的一端设置有窗口连通内部,两个框型料架之间设置有呈对称的两组存放拿取组件,每组存放拿取组件均包括夹板、摆动驱动件、多轴机械臂,摆动驱动件与夹板连接驱动夹板摆动使夹板端部对位相邻两根料柱之间或对位窗口,多轴机械臂与摆动驱动件连接,摆动驱动件和多轴机械臂均与
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220997869U
(45)授权公告日2024.05.24
(21)申请号202322656489.5
(22)申请日2023.09.28
(73)专利权人东莞市国脉智能科技有限公司
地址
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