一种联合钝化背接触电池的后制绒制作方法.pdfVIP

一种联合钝化背接触电池的后制绒制作方法.pdf

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本发明属于联合钝化背接触电池制作技术领域,具体涉及一种联合钝化背接触电池的后制绒制作方法,包括:S2、在硅片背面依次形成第一半导体层、掩膜层;S3、形成第二半导体开口区;S4、制绒清洗;所述制绒清洗的过程至少包含预清洗、抛光、制绒;所述抛光采用的抛光液为含碱、抛光添加剂与水的混合溶液,抛光液的pH在11‑13,所述抛光添加剂包含浓度为0.1%‑2%的乙二胺四甲叉磷酸。本发明解决了激光开口后出绒不完整的问题,同时不腐蚀掩膜层,硅片损耗小;沉积的钝化膜层质量有了明显的改善,钝化性能提高,从而提高了开

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118099290A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410509617.X

(22)申请日2024.04.26

(71)申请人金阳(泉州)新能源科技有限公司

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