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微细电火花加工技术

微细电火花加工技术的简要及背景

随着世界范围产品日益的小型化和精密化,作为非接触式精微制造方法之一的微细及小

孔电火花加工技术以其超精细和高精度的加工特点倍受学术界和工业界关注,目前已经成为

微机械制造领域的重要组成部分之一,在制造业中得以广泛应用。

电火花加工是利用浸在工作液中的两极间脉冲放电时产生的电蚀作用，蚀除导电

材料的特种加工方法，又称放电加工或电蚀加工。主要用于加工具有复杂形状的型孔

和型腔的模具和零件；加工各种硬、脆材料，如硬质合金和淬火钢等；加工深细孔、

异形孔、深槽、窄缝和切割薄片等；加工各种成形刀具、样板和螺纹环规等工具和量

具。

20世纪50年代初期,我国开始研究和试制电火花镀敷设备,即把硬质合金用电火花工

艺镀敷在高速钢金属切削刀具和冷冲模刃口上,提高金属切削刀具和模具的使用寿命。同

时我国还成功研制了电火花穿孔机,并广泛应用于柴油机喷嘴小孔的加工。60年代初,上海

科学院电工研究所成功研制了我国第一台靠模仿形电火花线切割机床。随后又出现了具有

我国特色的冷冲模工艺,即直接采用凸模打凹模的方法,使凸凹模配合的均匀性得到了保

证,大大简化了工艺过程。60年代末,上海电表厂张维良工程师在阳极切割的基础上发明了

我国独有的高速走丝线切割机床。上海复旦大学研制出电火花线切割数控系统。70年代随

着电火花工艺装备的不断进步,电火花型腔模具成型加工工艺已经成熟。线切割工艺也从

加工小型冷冲模发展到可以加工中型和较大型模具。切割厚度不断增加,加工精度也不断

提高。80年代以来计算机技术飞速发展,电火花加工也引进了数控技术和电脑编程技术,数

控系统的普及,使人们从繁重、琐碎的编程工作中解放出来,极大的提高了效率。目前计算

机技术广泛应用于工业领域,电火花加工实现了数控化和无人化。美国、日本的一些电火

花加工设备生产公司依靠其精密机械制造的雄厚实力,通过两轴、三轴和多轴数控系统、

自动工具交换系统及采用多方向伺服的平动、摇动方案,解决了电火花加工技术中一系列

实质性的问题。随着具有高精度、高刚度、高自动化、高加工表面粗糙度的机床不断出现,

使加工的功能及范围不断扩大。如今,在国际上,电火花加工可以加工大至数十吨重的模具

和零件,小至只有几微米的微孔。

微细电火花加工技术的原理

电火花加工基于电火花腐蚀原理,是在工具电极与工件电极相互靠近时,极间形成脉冲

性火花放电，在电火花通道中产生瞬时高温,使局部金属融化,甚至汽化,从而将金属蚀除

下来。

(1)极间介质的电离、击穿,形成放电通道

放电通道是有大量带正电和负电的粒子以及中型粒子组成,带电粒子高速运动,相互

碰撞,产生大量热能,使通道温度升高,通道中心温度可达到10000摄氏度以上。由于放电开

始阶段通道截面很小,而通道内有高温热膨胀形成的压力高达几万帕,高温高压的放电通

-可编辑修改-

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道急速扩展,产生一个强烈的冲击波向四周传播。在放电的同时还伴随着光效应和声效应,

这就形成了肉眼所能看到的电火花。

(2)电极材料的融化,汽化热膨胀

液体介质被电离、击穿,形成放电通道后,通道间带负电的粒子奔向正极,带正电的粒子奔

向负极,粒子间相互撞击,产生大量的热能,使通道瞬间达到很高的温度。通道高温首先使

工作液汽化,进而气化,然后高温向四周扩散,使两电极表面的金属材料开始融化直至沸腾

气化。气化后的工作液和金属蒸汽瞬间体积猛增,形成了爆炸的特性。所以在观察电火花

加工时,可以看到工件与工具电极间有冒烟现象并听到轻微的爆炸声。

(3)电极材料的抛出

正负电极间产生的电火花现象,使放电通道产生高温高压。通道中心的压力最高,工作液和

金属汽化后不断向外膨胀,形成内外瞬间压力差,高压力处的熔融金属液体和蒸汽被排挤,

抛出放电通道,大部分被抛入到工作液中。加工中看到的桔红色火花就是被抛