(15)--2.2.1 电阻传感器基本概念及分类.pptVIP

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第2章传统传感器2.2电阻式传感器——电阻应变式传感器基本概念

1电阻应变式传感器的基本概念2电阻应变式传感器的工作原理3电阻应变式传感器测量电路4电阻应变式传感器温度误差及补偿5应变式弹性元件6第2.2章电阻式传感器电阻式传感器应用

电阻应变式传感器的基本概念2.2.1

基本内容2.2.1电阻应变式传感器的基本概念电阻式传感器转换原理及分类电阻应变式传感器的定义电阻应变式的传感器的分类及结构

1、电阻式传感器转换原理电阻式传感器是把被测量，如位移、压力、力、力矩等非电量的变化转换为电阻值的变化，然后通过测量该电阻值实现检测非电量的一种传感器。电阻元件非电量电阻变化一、电阻式传感器转换原理及分类

2、电阻式传感器的分类电阻式传感器的种类较多，本节主要介绍两种传感器：电阻应变式传感器电位器式传感器阻值随材料的形变而改变阻值随输出端位置的变化而改变输出特性一、电阻式传感器转换原理及分类

二、电阻应变式传感器的定义电阻应变式传感器基本概念电阻应变式传感器是一种利用电阻应变片将应变或应力转换为电阻的传感器，可以用于测量应变、力、压力、位移、加速度、力矩等参数。

案例：电子秤测量原理将物品重量通过悬臂梁转化结构变形，再通过电阻应变片和测量电桥转化为电信号输出。二、电阻应变式传感器的定义

案例：电子吊车秤二、电阻应变式传感器的定义

案例：应变式加速度二、电阻应变式传感器的定义

基片覆盖层敏感栅引线三、电阻应变式传感器的种类及结构电阻应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成。敏感栅：感受应变，并将应变转换为电阻的变化。敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。基片：绝缘及传递应变。测量时应变片的基底粘在试件上，要求基底准确地把试件应变传递给敏感栅。同时基片绝缘性能要好，否则应变片微小电信号就要漏掉。覆盖层：保护作用。防湿、蚀、尘引线：连接电阻丝与测量电路，输出电参量。

按材料分类：金属电阻应变片半导体电阻应变片金属丝式应变片金属箔式应变片体型半导体应变片薄膜型半导体应变片扩散型半导体应变片三、电阻应变式传感器的种类及结构

1、金属丝式应变片把一根金属电阻丝（康铜或镍铬合金制成，电阻率高，直径约0.02mm）绕成栅形，粘贴在绝缘基片上，上面覆盖一层薄膜，变成一个整体，由引出导线接到外电路。这种应变片结构虽然简单，蠕变较大，金属丝易脱胶，有逐渐被箔式所取代的趋势。基片覆盖层金属丝引线金属丝应变片结构（一）金属电阻应变片结构

2、金属箔式应变片利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003～0.010mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。优点：表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。（一）金属电阻应变片结构

（二）半导体电阻应变片结构半导体应变片的类型：体型、薄膜型和扩散型等。1、体型半导体应变片半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上制成。

（二）半导体电阻应变片结构2、薄膜型半导体应变片通过真空沉积技术，在带有绝缘层的试件上沉积半导体材料薄膜而制成。引线绝缘层金属箔基底半导体薄膜灵敏度为30电阻值为120～160Ω非线性误差约为0.2%使用温度范围为-150～2000C

（二）半导体电阻应变片结构3、扩散型半导体应变片是在硅材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻（P型或N型）构成的。引线SiO2绝缘层N型硅吕电极P型硅扩散层稳定性好机械滞后和蠕变小

金属应变片与半导体应变片比较金属应变片优点：稳定性好和温度特性好缺点：灵敏度系数小半导体应变片优点：应变灵敏度大，体积小，机械滞后小，范围广缺点：热稳定性差，灵敏度离散度大，在较大应变作用下，非线性误差大。

电阻式传感器原理及定义电阻式传感器分类电阻应变片式传感器定义电阻应变式传感器分类及结构小结：2.2.1电阻应变式传感器的基本概念

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