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JJG20222009
真空计量器具检定系统表
1范围
本检定系统表适用于(-45)压力范围内真空计量器具的量值传
1×10~1×10Pa
,、、,
递它包括真空计量基准器具真空计量标准器具真空工作计量器具及其之间的量
值传递关系和量值传递方法。
2术语及定义
2.1标准真空计standardaues
gg
用来作量值传递或量值参考的真空计。
2.2真空标准装置standardvacuumaaratus
pp
用来复现真空量值的真空装置。
2.3间接比较法indirectcomarativemethod
p
通过传递标准来进行装置之间量值比较的方法。
2.4直接比较法directcomarativemethod
p
通过直接比较来传递量值的量值传递方法。
2.5膨胀法exansionmethod
p
,
在等温条件下将已知体积和压力的小容器中的非可凝性气体膨胀到已知体积的高
,。
真空大容器中根据波义耳定律得到膨胀后的气体压力的方法
2.6非可凝性气体non-condensableas
g
,。
在临界温度以上的气体即单纯增加压力不能使其液化的气体
3计量基准器具
国家真空计量基准器具由静态膨胀法真空基准装置和活塞式压力计组成。
、
3.1计量基准器具的范围不确定度和组成
3.1.1静态膨胀法真空基准装置
压力范围:(-42)
1×10~1×10Pa
不确定度:()
U=0.4%~0.07%k=2
r
:、。
注在基准标准计量器具中给出的不确定度对应的是压力范围的下限和上限
、、、、、。
由抽气系统阀门膨胀室小体积气源室烘箱和控制系统等组成
3.1.2活塞式压力计
压力范围:(23)
1×10~5×10Pa
不确定度:()
U=0.03%~0.005%k=2
r
、、。
由低压校准系统参考砝码真空分子泵和预抽泵等组成
3.2国家真空基准装置的溯源和量值的保证
()静态膨胀法真空基准装置
1
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