真空氦漏孔校准规范.pdf

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JJF18332020

真空氦漏孔校准规范

1范围

-10-43

本规范适用于漏率值在()·/范围内的真空氦漏孔的

1×10~1×10Pams

校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

—通用计量术语及定义

JJF10012011

—压力计量名词术语及定义

JJF10082008

/—真空技术术语

GBT31632007

/—真空技术图形符号

GBT31642007

:无损检测漏孔检测气体参考漏孔校准(

BSEN204862018NonDestructive

——)

TestinLeakTestinCalibrationofReferenceLeaksforGases

gg

:()校准气体参考漏孔的标准方法(

ASTME90819982012StandardPractice

forCalibratinGaseousReferenceLeaks)

g

,;

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,()。

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

3术语和计量单位

3.1术语

漏孔

3.1.1leak

,

当密闭的容器内部与外部的气体压力或浓度不同时可以使气体由器壁的一侧泄漏

、。

到另一侧去的小孔缺陷或隙缝以及渗透元件或漏气装置

[—,定义]

JJF1008200811.31

3.1.2真空氦漏孔vacuumheliumleak

、。

使用氦气作为示踪气体的出气口压力低于1kPa条件下校准和使用的漏孔

3.1.3通道漏孔conductanceleak

可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一个漏孔。

[/—,定义]

GBT316320076.1.2

3.1.4渗透漏孔ermeationleak

p

()。

气体通过渗透穿过薄膜薄壁的一种漏孔

漏率

3.1.5leakrate

,。

在规定条件下一种特定气体通过漏孔的流量

[/—,定义

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