真空氦漏孔校准规范.docx

JJF1833—2020

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真空氦漏孔校准规范

1范围

本规范适用于漏率值在(1×10-10~1×10-4)Pa·m3/s范围内的真空氦漏孔的

校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

JJF1001—2011通用计量术语及定义

JJF1008—2008压力计量名词术语及定义

GB/T3163—2007真空技术术语

GB/T3164—2007真空技术图形符号

BSEN20486:2018无损检测漏孔检测气体参考漏孔校准(NonDestructive

Testing—LeakTesting—CalibrationofReferenceLeaksforGases)

ASTME908:1998(2012)校准气体参考漏孔的标准方法(StandardPractice

forCalibratingGaseousReferenceLeaks)

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语和计量单位

3.1术语

3.1.1漏孔leak

当密闭的容器内部与外部的气体压力或浓度不同时,可以使气体由器壁的一侧泄漏到另一侧去的小孔、缺陷或隙缝以及渗透元件或漏气装置。

[JJF1008—2008,定义11.31]

3.1.2真空氦漏孔vacuumheliumleak

使用氦气作为示踪气体的、出气口压力低于1kPa条件下校准和使用的漏孔。3.1.3通道漏孔conductanceleak

可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一个漏孔。

[GB/T3163—2007,定义6.1.2]

3.1.4渗透漏孔permeationleak

气体通过渗透穿过薄膜(薄壁)的一种漏孔。

3.1.5漏率leakrate

在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。

[GB/T3163—2007,定义6.1.9]

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3.1.6示漏气体tracedgas

喷在被检容器外或压缩到被检容器内可以用适当的方法和仪器进行漏隙检查的

气体。

[JJF1008—2008,定义11.40]

3.1.7氦质谱检漏仪heliummassspectrometerleakdetector

以氦作示漏气体,调正到对氦起灵敏反应的专门用作检查漏隙的质谱仪。

[JJF1008—2008,定义11.38]

3.1.8质谱计massspectrometer

区分不同质荷比电离粒子并测量其离子流的一种仪表。

[GB/T3163—2007,定义4.5.1]

3.2计量单位

漏孔漏率的计量单位是帕斯卡立方米每秒(Pa·m3/s)或摩尔每秒(mol/s)。

4概述

真空氦漏孔(以下简称为漏孔)是一种在特定条件下提供恒定、已知氦气流量的元件,用来校准氦质谱检漏仪的灵敏度。按照其结构,主要可以分为两类,一类是通道漏孔,即泄漏元件为真实小孔,包括毛细管型、小孔型、金属压扁型等;另一类是渗透漏

孔,主要是用石英玻璃作为渗透元件。

漏孔通常由漏孔元件、储氦室和阀门组成,如图1所示。

图1真空氦漏孔结构示意图

5计量特性

5.1漏率值

给出一定条件下,真空漏孔对氦气的漏率值。如果可获得温度修正系数,则需要给

出23℃下的氦气漏率值。

6校准条件

6.1环境条件

6.1.1校准的环境温度为(23±5)℃,校准过程中,环境温度波动不超过1℃,实验

室内不应有明显的气体流动。

6.1.2环境湿度不大于80%RH。

6.1.3校准设备周围不应有明显的振动,或其他干扰因素。

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6.2测量标准及其他设备

6.2.1测量标准装置

标准装置用于提供已知的气体流量或气体量,主要有以下三种类型,可以任选

其一。

———流量计法校准装置,测量范围应在(1×10-10~1×1