真空计量器具检定规程.docx

JJG2022—2009

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真空计量器具检定系统表

1范围

本检定系统表适用于(1×10-4~1×105)Pa压力范围内真空计量器具的量值传递,它包括真空计量基准器具、真空计量标准器具、真空工作计量器具,及其之间的量值传递关系和量值传递方法。

2术语及定义

2.1标准真空计standardgauges

用来作量值传递或量值参考的真空计。

2.2真空标准装置standardvacuumapparatus

用来复现真空量值的真空装置。

2.3间接比较法indirectcomparativemethod

通过传递标准来进行装置之间量值比较的方法。

2.4直接比较法directcomparativemethod

通过直接比较来传递量值的量值传递方法。

2.5膨胀法expansionmethod

在等温条件下,将已知体积和压力的小容器中的非可凝性气体膨胀到已知体积的高真空大容器中,根据波义耳定律得到膨胀后的气体压力的方法。

2.6非可凝性气体non-condensablegas

在临界温度以上的气体,即单纯增加压力不能使其液化的气体。

3计量基准器具

国家真空计量基准器具由静态膨胀法真空基准装置和活塞式压力计组成。3.1计量基准器具的范围、不确定度和组成

3.1.1静态膨胀法真空基准装置

压力范围:(1×10-4~1×102)Pa

r不确定)的是压力范围的下限和上限。

由抽气系统、阀门、膨胀室、小体积、气源室、烘箱和控制系统等组成。3.1.2活塞式压力计

压力范围:(1×102~5×103)Pa

.0分子抽泵等组成。

3.2国家真空基准装置的溯源和量值的保证

(1)静态膨胀法真空基准装置

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静态膨胀法原理是基于理想气体状态方程。前级压力可由数字压力计测量得到,体积比是通过称重法测量得到,故静态膨胀法真空基准装置是通过向长度、质量、温度这三个基本量溯源,得到量值。

(2)活塞式压力计

活塞式压力计是通过测量活塞有效面积、砝码质量、重力加速度得到量值,可溯源至长度、质量、时间、温度这四个基本量。

3.3国家真空基准装置的量值传递

国家真空基准装置通过间接比较法对静态膨胀法真空标准装置进行量值核查。由磁悬浮真空计和稳定性优于0.1%的薄膜真空计作为核查使用的传递标准器。

国家真空基准装置通过直接比较法对比较法真空标准装置所使用的标准真空计进行量值传递。

4计量标准器具

真空计量标准器具由静态膨胀法真空标准装置、比较法真空标准装置和压缩式真空计标准装置组成。

4.1静态膨胀法真空标准装置

静态膨胀法真空标准装置的量值由长度、质量、时间、温度溯源而来,并由传递标准器通过间接比较法与国家真空计量基准器具相联系。

压力范围:(1×10-4~1×102)Pa

空计进行量值传递。

4.2比较法真空标准装置

比较法真空标准装置的量值由国家真空基准器具或国家真空标准器具通过直接比较法传递而来。

压力范围:(1×10-4~1×105)Pa

或工空计进行量值传递。

比较法真空标准装置由标准真空计、校准室、可调压力真空系统等几部分组成,其中标准真空计包括以下几种:

(1)电离真空计

测量范围:(1×10-4~1×10-2)Pa

最大允差:±10%

(2)磁悬浮真空计

测量范围:(1×10-4~1)Pa

最大允差:±1%

(3)薄膜真空计

测量范围:(1×102~1×105)Pa

最大允差:±0.1%

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(4)薄膜真空计

测量范围:(1×10-2~1×105)Pa

最大允差:±0.5%

4.3压缩式真空计标准装置

压缩式真空计标准装置的量值由长度、质量、时间、温度溯源而来。

压力范围:(1×10-2~1×103)Pa

行量值传递。

5工作用计量器具

真空工作用计量器具主要有:电离真空计、热导式(电阻/热偶)真空计、压阻真空计、电容薄膜真空计、压缩式真空计等。其量值由静态膨胀法真空标准装置、比较法真空标准装置和压缩式真空计标准装置传递而来。

附加说明:工作计量器具可能会有新的产品或不同的名称,在检定系统表中不可能