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氦检漏作业指导书

篇一：氦气检漏作业指导书B版本篇二：氦检漏步骤

氦检漏步骤

1、抽真空至5Pa以下就可以开头检测。

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”

灯亮起，等待系统运行

3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观看预置参数，应为

10-15，

一般取15，观看数值，应为10的-8至-9次方时，可以开头检漏〔等待几分钟〕

4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，留意：检漏口的压强不得超过

10MPa,否则机器易损坏，

5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”

6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦

后再观看20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最终关电源。篇三：氦质谱检漏仪使用说明(1)

氦质谱检漏仪使用说明

一、检漏仪及其真空系统的组成

VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3〔毫升/秒〕到2X10-10〔毫升/秒〕

〔相当于30年漏1毫升〕，它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮掌握的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等局部组成，其真空系统构造为〔分子泵型〕，如图1：

图1检漏仪真空系统构造图〔分子泵型〕

检漏仪开启后，V1、V2、V6阀翻开，测试口与质谱管保持真空

连接。假设按下“VENT”键，放气阀V3翻开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2翻开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时，质谱管真空度要到达2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

二、检漏仪工作原理图2检漏仪工作原理图

假设被检系统有微小漏孔，在小孔四周喷氦气时，总有局部氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统集中到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成局部，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝放射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场〔磁场强度为2340高斯〕，由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件一样的状况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比打算，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。三、掌握和指示器功能说明：序号1

掌握、指示器功能

VentStartHold和Test检漏仪开关时，掌握各个阀的

按钮动作挨次Pressure(压力指示)Leakrate(漏率指示)

显示测试口压力，单位millitorr显示漏率，单位stdcc/sec(标准

立方厘米每秒)，超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光二极管〔LED〕“over”和“under”显示。随“range”和“Hi-LoSensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示4、5、6、7、8或9作指数

23

4Range〔量程选择〕

量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小漏率〔最高灵敏度〕到最大漏率〔最低灵敏度〕电位器调整零点

质谱管灯丝放射后绿色LED显示灯亮，表示检漏仪处于测试状态56

Zero〔调零〕FIL(灯丝指示)7

Hivacok〔真空度ok〕系统真空度到达要求后，绿色

LED指示灯亮Mainpower(主电源)Focus(聚焦)ION〔离子源掌握〕检漏仪总电源掌握调整聚焦电位

调整离子腔室电压，电位器可转10圈8910

11

Residualbackground(残二位选择开关，检测真空系统余本底)剩余本底，通常打在Run〔运

行〕位臵，假设要测氦本底，则打至check(检测)位臵。Coarsezero(粗调)Fil.Selector(灯丝选择)

漏率显示粗调

二位开关选择灯丝1或灯丝2

12131415

Fil.On–Off〔灯丝开关〕开关离子源灯丝EMIS〔放射掌握〕通过转变灯丝电流来调整离子

源电子放射调整检漏仪板警声音校准电位器，使漏率读数和标

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AUDIO〔声音调整〕CAL.〔校准掌握〕准漏孔全都