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作业文件文件编号
版本/修订
ZYGO干涉仪使用说明
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1目的
为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO
干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2围
本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面元件的一般方法。
3录取数据
在检验过程中将会生成以下记录：
3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVEDATE保存。
4Zygo干涉仪的定义
4.1应用（application）
应用是ZYGO干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文
件。不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是GIP.app用于一般的平面和
球面的测量，GPI-Cylinde.app用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度
的测试。
4.2猫眼像（cateye）
又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是
透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3镜片像
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从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生
干涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息
来源。
4.4升降台
可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5Align/View模式
按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一。align模式可以看到一
个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较
大。View模式是按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一，可以看到
干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view
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版本/修订
ZYGO干涉仪使用说明
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界面观察条纹。
4.6标准镜
干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7长度基准
设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图
所代表的零件大小可能有很大的差异。设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形
中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
4.8掩膜（mask）
表明干涉图中有效区域的工具。可以根据需要设定有效区域的形状、大小、
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位置，也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。
5职责
主要包括以下几个方面：
5.
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