《晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备》.docx

Q/LB.□XXXXX-XXXX

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ICS

FORMTEXT27.160

CCS

FORMTEXTL95

团体标准

T/CPIAFORMTEXTXXXX—202X

FORMTEXT?????

FORMTEXT晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

FORMTEXTLowpressurechemicalvapordepositionequipmentusedforcrystallinesiliconphotovoltaiccells

（报批稿）

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FORMDROPDOWN

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

FORMTEXT中国光伏行业协会??发布

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目次

TOC\o1-1\h\t标准文件_一级条标题,2,标准文件_附录一级条标题,2,26744前言 III

39661范围 1

96432规范性引用文件 1

113523术语和定义 1

212084工作环境 2

101215技术要求 2

180615.1外观及结构要求 2

171945.2基本性能 2

280405.3工艺运行自动化控制 3

179875.4安全要求 3

192645.5可靠性 3

27345.6噪声 3

116195.7电磁兼容性 3

321826检验方法 3

43816.1检验设备及仪器 3

1816.2外观及结构检查 4

204066.3基本性能检测 4

306636.4工艺运行自动化控制检验 6

135736.5安全要求检测 6

161096.6可靠性检测 6

303376.7噪声检测 6

167156.8电磁兼容性检测 6

307297交付检验 7

29298标志、包装、搬运和运输、贮存 7

295758.1标志 7

145388.2包装 8

8018.3搬运和运输 8

239758.4储存 8

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会提出。

本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：。

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晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

范围

本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备（以下简称“LPCVD设备”）的术语和定义、工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。

本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly-Si）层、原位掺杂多晶硅（Poly-Si）层等的工艺制备。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2297太阳光伏能源系统术语

GB2894—2008安全标志及其使用导则

GB/T5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案

GB/T5226.1—2019机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件

GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T11164—2011真