薄膜与涂层现代表面技术.docx

材料外表技术分类

材料外表技术：材料表而涂镀技术、材料表而改性技术、材料表而微细加工技术、表而检测分析与质量评估。

材料外表涂镀技术：物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD、电镀及阳极氧化、化学镀、

热喷涂喷焊、电刷镀、电泳涂层、涂镀〔喷塑油漆〕、表而复合处理技术、材料纳米化外表工程技术。

材料表而改性技术：活性气体离子处理、气体扩渗、液体扩渗、固体扩渗、机械强化、激光表而处理、电子束表而改性、离子朿外表改性。

材料外表微细加工技术：光刻加工、电子束微细加工、离子朿微细加工、激光朿微细加工、微细电火花加工、微细喷粉加工、超声波加工、微细电解加工、微电铸加工、LIGA技术加工。