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1前言
半导体材料是指电阻率在107Ω·cm~10-3Ω·cm,界于金属和绝缘体之间的材料。半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力电子器件、光电子器件的重要根底材料[1],支撑着通信、计算机、信息家电与网络技术等电子信息产业的进展。电子信息产业规模最大的是美国和日本,其2023年的销售收入分别为3189亿美元和2320亿美元[2]。近几年来,我国电子信息产品以举世瞩目的速度进展,2023年销售收入以1.4亿人民币居全球第3位,比上年增长20%,产业规模是1997年的2.5倍,居国内各工业部门首位[3]。半导体材料及应用已成为衡量一个国家经济进展、科技进步和国防实
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