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半导体薄膜技术与物理
黄天捷2023160244
1.真空概念和测量单位
〔一〕真空概念
真空是指在指定空间内低于环境大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子数密度。在标准状态〔STP：即0°C，101325Pa〕下，气体的分子数密度为2.6870×1025m-3，而在真空度为1×10-4Pa时，气体的分子数密度只有2.65×1016m-3。
完全没有气体的空间状态成为确定真空。确定真空实际上时不存在的。
〔二〕真空度及测量单位
在真空技术中常用真空度来度量真空状态下空间气体的淡
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