薄膜物理与技术考试重点.docx

1．真空环境的划分：①低真空〔102Pa〕；②中真空〔102—10-1Pa〕；③高真空〔10-1—10-

5Pa〕；④超高真空〔10-5Pa〕

真空蒸发沉积：高真空和超高真空〔10-3Pa〕溅射沉积：中、高真空〔10-2—10Pa〕

低压化学气相沉积：中、低真空〔10—100Pa〕电子显微分析：高真空

材料外表分析：超高真空

为了获得高真空蒸发系统，通常承受旋片式机械泵和涡轮分子泵两级真空泵联用，其中与真空室直接相连的是涡轮分子泵。

真空泵的原理和适用范围：

①旋片式机械真空泵〔输运式真空泵〕：依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 1